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獲得超精密的加工精度,鋸床下料加工價格,仍有賴于精密的加工設備和精準的控制系統,并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規模集成電路的制版就是采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑(見光刻)進行曝射,使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解),再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉,平度鋸床下料加工,制成掩膜。電子束曝射制版需要采用工作臺定位精度高達±0.01微米的超精密加工設備。






因遭受外國禁運而受制于人的局面。 雖然國內的超精密拋光技術取得了一些成績,但是與國外相比差距還很大。國內主要以大學的研究為主,求購鋸床下料加工,真正的商品化應用實例還不多。而國外的超精密拋光技術產業化比較好,多數為大學與公司合作的形式,能夠迅速將技術轉化為生產力??梢?,當前我國超精密加工機床存在的突出問題是:自主開發能力薄弱,專業化的配套體系尚未形成,昊炬鋸床下料加工,功能部件發展滯后,產品自動化水平低,可靠性、精度保持性差。
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